半導體行業專用HAST老化箱

半導體行業專用HAST老化箱生產廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業的生產研發技術，一站式周到服務。作為一家專注于試驗設備產品的大型儀器制造商，皓天設備致力于為消費者提供技術、品質的優秀產品。

一、 產品詳情與用途
本產品是專為半導體行業（如集成電路、芯片、封裝、功率器件等）設計的高可靠性測試設備。它通過創造高溫（通常105-150℃）、高濕（可達100%RH）及高壓力（高3個大氣壓）的非飽和或飽和蒸汽環境，對半導體器件進行加速老化測試。其核心用途是在短時間內（幾十至幾百小時）模擬并揭示產品在長期（數年）使用中可能出現的由濕氣侵入、腐蝕、離子遷移等引起的失效模式，從而快速評估其封裝可靠性、材料穩定性及使用壽命，是提升產品良率、縮短研發周期的關鍵設備。

半導體行業專用HAST老化箱

二、 主要技術參數

• 溫度范圍：+105℃ ~ +150℃（可定制更高）

• 濕度范圍：75% ~ 100% RH

• 壓力范圍：常壓 ~ 0.3MPa

• 升溫時間：從常溫至130℃ < 40分鐘

• 溫度均勻度：≤±1.0℃

• 壓力控制精度：±2kPa

• 內箱容積：標準50L/100L/150L（可按需定制）

• 電源：AC380V / 50Hz 三相五線制

三、 箱體結構與材質

• 外箱材質：優質A3鋼板，表面靜電噴塑，防腐耐用。

• 內箱材質：采用SUS316L高級不銹鋼板，具備優異的抗高溫、高濕、高壓及耐腐蝕性能，確保長期穩定運行且無污染。

• 保溫層：高強度聚氨酯泡沫整體發泡，厚度≥100mm，確保高效保溫與節能。

• 密封門：雙道耐高溫、耐高壓硅橡膠密封條，配備高強度門鎖與泄壓安全機構。

• 樣品架：不銹鋼多層可調式載物架，承重性強，通風設計合理。

四、 產品特點

1. 高安全性：具備超壓、超溫、漏電、缺水、過流等多重安全保護與報警功能。

2. 高精度控制：采用進口高精度溫濕度傳感器與PLC+觸摸屏智能控制器，確保壓力、溫度、濕度的精確、穩定與可重復性。

3. 抗腐蝕設計：所有與蒸汽接觸的部件均采用耐腐蝕材料，延長核心部件壽命。

4. 快速穩定：優化的加熱與加濕系統，能快速達到并穩定在設定測試條件。

5. 數據追溯：標配USB或以太網接口，可全程記錄、存儲和導出測試數據與曲線。

五、 風道系統
采用頂部水平送風、底部回風的科學循環風道。配合大功率耐高溫長軸離心風機，保證箱內溫濕度及壓力的高度均勻性。風道經過CFD模擬優化，風速柔和均勻，避免對小型器件造成沖擊。

六、 安裝與調試
設備為一體化結構，到位后只需連接電源、排水管和純水/去離子水水源（電阻率≥0.5MΩ·cm）即可。我司工程師將提供現場安裝、調試及操作培訓服務，確保設備正常運行并滿足用戶測試要求。

七、 售后服務
提供壹年整機質保，核心部件提供更長保修期。提供724小時技術咨詢，承諾48小時內提供明確的故障解決方案。定期提供設備維護建議及軟件免費升級服務。

八、 結構設計
整機采用人性化人機工程學設計。控制器位于設備正面中上部，觀察窗帶照明燈，便于操作與觀察。管路與電氣系統模塊化布局，便于維護檢修。緊湊的占地面積設計，充分考慮了半導體潔凈車間或實驗室的空間利用率。